1、检查转子流量计显示仪表:该显示仪表可以单独测试,设置和流量检测可以短路,并且可以调节设置旋钮以观察其是否跳动。
2、检查流量计:如果可以消除指示器的问题,则可能是实际的流量控制不稳定或流量控制器出现故障。有必要消除周围的干扰:
(1)可能是接地干扰,请检查接地系统,注意接地;
(2)可能是气源压力太低或不稳定,需要增加气源压力。稳定气压。
(3)可能是空间干扰。使用适当的屏蔽,远离干扰源,并选择屏蔽线。
(4)可能是由于气体性质不同,在使用氮气校准分子量相同的气体时,也可能发生控制不稳定性。
(5)可能是污染,如果气源有灰尘,容易液化等,则应在通道前安装过滤器。
(6)可能是通道的内阻气源太大,需要降低气源的内阻流量大时,要注意打开大的阀门,加厚管道,甚至并联气瓶,以提高气源的供气能力气。它们被适当加热。如果使用硅烷等特殊气体,请注意管道的密封性和气源的干燥度。
(7)转子流量计回路或调节阀可能有故障,需要将其送回工厂进行维修。